們生產加工IC級4英寸熱氧化單晶拋光硅片
等級:Prime
生長方式:CZ/FZ
直徑:100mm+/-0.2mm
導電類型/摻雜 P/Boron N/Phos
晶向:<100> <110> <111>
電阻率(歐姆厘米): (0.0001 - 0.9 )/(1 - 10)/ (10 - 100)/ >100
厚度(um):525+/-15 可定制
氧化層厚度(納米nm)5nm 50nm 100nm 285nm 300nm 1000nm可定制
氧化層厚度均勻度 < 5%
表面/背面: 拋光/腐蝕 拋光/拋光
位錯:無
晶體缺陷:無
少子壽命(us):電子級